致真精密仪器AI重构高端科学仪器 助力半导体工艺优化

GAITC 2026结束后，行业内的询问集中涌向致真精密仪器发布的iAFM。这款全智能原子力显微镜早在4月ACCSI 2026上便完成了首秀，一度登上新华社视频封面。近期在GAITC 2026展会上，搭载Truth-Seeker 2.0系统的iAFM再度成为展区技术焦点之一，在“AI+科学仪器”这一交叉赛道上，进一步夯实了品牌的技术声量。

图 1 致真精密仪器亮相2026全球人工智能技术大会，获多家机构关注

图 2 致真精密仪器于第十九届中国科学仪器发展年会正式推出iAFM

对于致真精密仪器而言，iAFM的意义远超一次产品首发。这一定位标志着公司在“AI+仪器+实验室”技术路径上完成了系统化验证。团队的核心策略清晰：通过人工智能降低高端科学仪器的操作门槛，将复杂的仪器控制、实验流程编排、多维度数据分析乃至报告输出逐步沉淀为可复用的智能化能力。这一思路意味着，高端仪器不再局限于依赖资深专家操作的硬件设备，而是进化为能够理解实验任务、辅助科学决策、积累领域知识并实现持续迭代的科研基础设施。

传统原子力显微镜的行业痛点早已被共识——操作流程繁杂、参数组合调试耗时长、数据分析专业门槛高、经验传承缺乏系统性机制。iAFM的系统解耦方案从硬件、软件与智能体三个层面同步推进。自动换针机构、智能进针与定位、激光自动校准、参数自适应调节、自动化扫描路径规划、实验结果智能解析与报告自动生成，再加上硬件安全防护机制——这一套完整能力组装完成后，对半导体材料表征、晶圆表面质量检测、薄膜沉积工艺、刻蚀及清洗效果评估、先进封装微结构分析、微纳器件研发以及集成电路工艺优化等应用场景，智能化原子力显微镜的实际价值已清晰呈现。不仅测试效率显著提升，操作门槛大幅降低，高端检测能力也具备了在更多研发实验室、工艺开发平台及产业现场快速复制的可行性。

iAFM的智能核心源于自研的科研智能体应用Truth-Seeker 2.0。该系统围绕“文献解析、实验方案设计、仪器协同操作、仿真建模、实验结果分析、报告自动生成”这一完整科研链条，构建出一套面向科学实验场景的智能化辅助体系。关键差异点在于——与面向通用问答的生成式模型不同，Truth-Seeker 2.0的核心价值并非信息检索，而是将仪器操作技能、实验设计逻辑、数据分析方法与领域知识沉淀为模块化可复用组件，从而灵活适配不同类型的仪器、不同背景的用户以及差异化的科研任务需求。

在此之前，一个更具战略意义的布局已经落地。由北京航空航天大学牵头，致真精密仪器与松延动力共同承建的“人工智能全自动化实验室关键共性技术”北京市重点实验室，已在北京航空航天大学正式挂牌运行。该实验室聚焦人工智能与科学仪器的深度融合，研究方向覆盖自动化实验机器人系统、智能化科学仪器与实验室智慧管理软件等关键共性技术。致真精密仪器在其中承担AI+仪器方向的多项核心技术研发及产业化落地，涉及科研领域专用大模型、仪器操控与实验数据分析智能体以及智慧实验室管理平台等核心模块。

图 3“人工智能全自动化实验室关键共性技术”北京市重点实验室揭牌仪式

将上述几个节点串联来看——北京市重点实验室启动、Truth-Seeker 2.0发布、iAFM在ACCSI 2026与GAITC 2026的集中亮相——致真精密仪器正在勾勒出一条清晰的技术演进路径：以高端科学仪器为硬件底座，以行业知识库、实验数据与工艺数据为支撑内核，以智能体系统为交互引擎与执行中枢，逐步搭建面向科研攻关、半导体工艺优化与产业检测场景的智能仪器生态体系。

从公司基本面来看，致真精密仪器成立于2019年，定位为平台型高端科学仪器与集成电路测试设备供应商。产品线覆盖精密磁测量设备、扫描探针显微镜、低温实验装置、X射线检测仪器、微纳零部件及人工智能方向。公开信息显示，公司已具备面向磁性芯片的全套量检测设备制造能力与全流程解决方案能力；新型超大容量硬盘介质检测设备也已获得海外头部客户的批量订单，这是国产高端精密仪器在海外产业客户场景中迈出实质性第一步的标志。在原子力显微镜细分赛道上，作为国家级产业专项牵头单位，公司正在围绕核心零部件、整机系统、功能模式扩展、智能化操控及产业化应用推进系统性攻关。目前，致真精密仪器已获得国家高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业资质认定，产业资本与战略投资机构正持续加大支持力度。

高端精密仪器行业品类多、技术交叉性强、工程化链条长、应用场景高度分散，单一爆款产品难以支撑长期竞争壁垒。致真精密仪器所选择的路径十分明确：延续平台型发展思路，以精密仪器核心能力为根基，以AI智能化为增值引擎，以产学研协同创新与产业化应用为落地抓手，在高端科学仪器、半导体检测设备与智能实验室系统三大方向上，持续推动自主技术突破与规模化部署。